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安捷伦推出65nm工艺DC/RF/脉冲测试仪
2005年4月5日 8:30  来源:中国激光网

    安捷伦科技日前宣布推出Agilent 4075和4076 DC/RF/脉冲参数测试仪,用来鉴定使用高级工艺技术(如65nm技术节点)制造的器件。通过Agilent 4075和4076,半导体测试工程师可以同时测量RF特点和DC特点,以满足当前体积日益缩小的多样化半导体器件需求,如65nm及更高工艺的超薄栅氧化物晶体管、绝缘体上硅(SOI)晶体管和高介电常数(高k)器件。 

    Agilent 4075和4076为精确鉴定新的器件结构提供了所需的灵活性,如超薄栅氧化物MOSFET,或通信应用中使用的高速半导体器件。这两款测试仪支持10ns短脉冲式IV测量,如高速逻辑应用中使用的SOI晶体管和高介电常数晶体管。此外,Agilent 4076支持直到1fA的超低电流测量功能。

    与整个4070系列一样,Agilent 4075和4076支持行业标准300mm SECS/GEM自动化协议,保证制造设备共享一致的界面和行为。

    现代超薄栅MOSFET容易受到电子隧道的影响。为鉴定其电容和电压(CV)行为特点,测量频率必需超过几兆赫。但是,高频CV(HFCV)及实现鉴定必需的射频频率CV (RFCV)测量技术之间相互抵触。Agilent4075和4076同时支持HFCV (4294A)仪器和RFCV (ENA/PNA)仪器,使得用户能够选择最佳方法,满足自己的工艺技术和生产测试需求。 

    Agilent 4075和4076都把高速电容测量单元(CMU)集成到测试头中。这一功能可以在1kHz 
-2MHz频率范围内,对层间/层内氧化物进行快速电容测量,从而改善吞吐量,降低测试成本。

    安捷伦的这两款测试仪都支持利用PNA进行RF的S参数测试功能,相对于目前市面上使用VNA的解决方案,以PNA为主的RF解决方案可提供更高的产出速度。此外,Agilent 4076还为生产测试提供了实验室测试功能。 

    Agilent 4075和4076所有的RF、HFCV和超短脉冲式IV测量功能都可以在整个新设计的直接对接接口上使用。这种直接对接的设计可通过自动化的探针卡更换机制,让使用者轻易地控制和变换探针卡,而且这种RF直接对接的方式也不会减少任何的DC针脚。


 

 
 [关键词]:测试仪 安捷伦 脉冲  发表评论    【推荐】 【打印

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