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我国大规模集成电路封装材料实现突破
2005年4月25日 9:41  来源:传感器世界

    由中国科学院化学研究所成功开发出的可用于超大规模集成电路(VLSI)先进封装材料光敏型BTPA-1000和标准型BTDA1000聚酰亚胺专用树脂,目前已申请7项国家发明专利。国内多家半导体企业和科研院所准备将这种新型树脂用于芯片及光电器件的制造,年产几十吨的工业中试装置正在建设,可望于今年7月投产。

    中科院化学所高技术材料实验室主任、该课题负责人杨士勇研究员介绍,随着世界IC芯片向高集成化、布线细微化、芯片大型化、薄型化方向的发展,对封装材料的要求越来越高。先进封装技术需要将互连、动力、冷却和器件钝化保护等技术组合成一个整体,以确保IC电路表现出最佳的性能和可靠性。在国家863计划支持下,杨士勇研究员带领导的课题组经过潜心攻关研究,现已成功开发出体积收缩率小、固化温度低、树脂储存稳定性好的光敏型BTPA-1000和标准型BTDA一1000聚酰亚胺专用树脂。其中光敏型BTPA-1000聚酰亚胺树脂具有特殊的光交联机理,无需添加其它光敏助剂即可进行光刻得到精细图形,制图工艺简单,可在最大程度上避免外来杂质对IC芯片表面的污染,适用于多层布线技术制造多层金属互连结构或芯片钝化,是一类有着广泛应用前景的负性光致抗蚀剂。 该课题组研制成功的FCBGA/CSP封装用UFEP-1000液体环氧树脂底灌料,具有粘度低、填充流动性好等特点。由于采用潜伏性环氧树脂固化促进剂,在低温和室温下具有良好的储存性能和适用期,具有优良的工艺性能和赭存稳定性。经适当热处理工艺固化后得到的树脂固化物具有优异的热性能和电绝缘性能以及良好的力学性能,是高密度微电子封装的关键性基础材料。

    聚酰亚胺专用树脂是主要用于IC芯片表面钝化、高密度封装器件的应力缓冲内涂层,多层金属互连结构和MCM的层间介电绝缘材料。据中国环氧树脂行业协会专家介绍,液体环氧树脂底灌料主要用于倒装焊芯片的电路封装,起降低芯片和有机基板由于热膨胀系数的不匹配引起的内应力,保护器件免受湿气、离子污染物、辐射以及机械振动的影响,增加器件的封装可靠性。这两种材料都是先进微电子封装技术中的关键配套材料,广泛应用于高精度电子封装和半导体制造的各个方面。 

 

 
 [关键词]:集成电路 封装材料 电子仪器  发表评论    【推荐】 【打印

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