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非接触三维表面形状测量装置面市
2005年6月20日 9:16  来源:日经BP社

    佳能营销公司日前开始销售可适用于各种材料的非接触三维表面形状测量装置“Zygo New View 6300”。通过采用名为“薄膜应用软件”的专用软件,可以测量此前无法评测的透明薄膜材料。这样一来,就可以应用于MEMS(微机电系统)和光磁盘等底板技术的研究开发,以及以液晶为首的显示器关联元器件材料的研究开发。 

  该软件以选配形式提供。可测量厚度在1μm以上、50μm以下的透明薄膜材料的表面形状和膜厚分布。该软件以美国Zygo公司开发的测量方法“扫描型白色干涉法”为基础,在提高照明光学系统的高亮度LED的对比度的同时,提高了高速数码相机的光学系统的性能。 

  作为测量方法,扫描型白色干涉法不采用干涉强度在被测物最大位置时的光量,而是通过对白色光干涉波纹进行快速傅立叶变换(FFT)后得到的每个空间频率所对应的相位数据来测量高度的。具有高分辨率、低噪音的特点。尤其是分辨率方面,垂直分辨率甚至可以提高到0.1nm,完全可以测量材料的超精密加工面。 

  垂直扫描速度方面,标准模式下为14μm/s、高速模式下为85μm/s。垂直测量范围为1nm~15mm。落差测量正确性不到0.75%,落差测量再现性在0.1%以下。不含税的价格为1600万日元。

 

 
 [关键词]:佳能 三维 微机电  发表评论    【推荐】 【打印

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