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MKS为半导体应用推出压力测量解决方案
2005年9月27日 9:4  来源:国际电子商情

  MKS Instruments为半导体生物制药应用推小巧、低电流的压力测量解决方案631B。631B采用超小型设计,其安装外壳减小了40%,很容易设计到新型小巧处理工具中。正常工作时电流小于1A(比现有压力计小50%),631B完整的电路只要求±15Vdc输入电压,可降低板上电源费用。此外,由于取消了互联电缆产生的噪声,性能获得改善。这种全铬铁合金电容传感器有超级抗腐蚀能力,高额定过压(45 psia)能力保证极好的可重复性和系统稳定性,且与处理过程无关。 

  631B可用于半导体制造过程中要求最苛刻的真空处理过程,例如金属蚀刻和氮化物化学气态沉积。它还适用于生物制药学处理设备,例如冷冻干燥机和用蒸汽抑制细菌生长的杀菌器。


 

 
 [关键词]:MKS 半导体 压力测量  发表评论    【推荐】 【打印

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