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XL-80:全新轻型激光干涉仪测量系统

2007/4/6/10:55 来源:仪器信息网

    在超精密的测量和校准方面,激光干涉仪已经扮演多年极重要的角色。但是近年来随着自动化运动系统性能大幅提高,面对半导体和传统金属加工业的需求,现有激光系统的性能已无法满足一些客户的要求。
    Renishaw的新型XL-80激光干涉仪能够满足和超越实际工业规范水平,提供4m/s最大的测量速度和50kHz记录速率。即使在最高的数据记录速率下,系统准确性可达到±0.5ppm(线性模式)和1纳米的分辨率,这些改进意味着工程师仍能使用可溯源性激光干涉的独特优势,帮助解决现代化机器设计问题。

    系统精度比原有的对应产品ML10激光系统有所提升,在整个日常温度、气压和湿度不同工作环境下,均可达到±0.5ppm的精度。环境读数使用XC-80智能传感系统进行读取,每7秒更新一次激光读数补偿值。还有一点很重要,与Renishaw的ML10系统一样,所有测量值均采用稳定的氦氖激光源的波长为基准,保证能够溯源至国际公认的长度标准。

    此新系统可以与现有的ML10系统光学镜组完全兼容,使目前全球数千ML10用户能够升级到新系统,并同时保留其在光学镜组、程序和人员培训上的原有投资。

    我们还提供已更新的Renishaw软件版本(LaserXL™及QuickViewXL™),能够以用户熟悉的、易于使用的格式提供数据。LaserXL™能够执行循序渐进式的测量,以方便对大多数机床按标准进行检验,QuickViewXL™软件能够在屏幕上实时地显示激光读数。

    您只要看一眼Renishaw的新型XL-80激光装置和XC-80补偿器,就会注意到它们比原有的ML10和EC10小了许多。现在,二者总重仅3公斤多一点(包括连接电缆、电源和传感器),比原来减轻了70%。当然,随着激光头和补偿器尺寸减小,其他系统组件,例如三脚架和云台也相应地减小以便相配,因此整个系统(除了三脚架)的装运箱减小了许多。现在,最小的“脚轮箱”只有原来箱子的一半大一点点,却可以携带整个线性和角度测量系统,并有放置RenishawQC10球杆仪组件的位置。这个高度便携的“检查和修正”系统总重不到15公斤,同类产品无以匹敌。

    为了与系统的其他组件的便携性相匹配,我们设计了新型三脚架和装运箱,仅重6.2公斤。

    激光头和云台体积很小,能够方便地固定在标准磁性座上,可以在不方便使用三脚架固定的应用条件下使用。XL-80激光测量系统的光束高度和光学镜组尺寸与ML10系统一样,因此也可以直接放在花岗岩工作台(不使用三脚架云台)上,进行坐标测量机的校准。

    Renishaw已将激光的预热时间缩短至大约仅6分钟。预热速度较同类系统快,因此用户等待时间减少了,用于测量工作的几率增加了,这对于机器校准服务商和那些需要在一个地点执行多项测量的用户而言非常重要。

    现在,信号增益的开启和关闭是一项标准功能,使其具有80米线性测量距离的能力。若短距离应用时,则可以提高信号强度。激光信号通过USB连线直接输出到电脑上(无需单独的接口),辅助功能端口可提供模拟信号及工厂按需设定的数字信号输出。

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